U bent hier: Home > Steven Boer wint KIVI prijs voor scriptie

17 december 2009

Steven Boer wint KIVI prijs voor scriptie

Steven Boer heeft van Kivi Niria de prijs gekregen voor beste afstudeerscriptie van de Universiteit Twente voor Mechanical Engineering. Naast een oorkonde ontving hij een geldbedrag van €1.500,- voor zijn scriptie “The study of a thermal deformation state estimator for use in optical lithography”.

Zoals de titel aangeeft is Boer bezig geweest met "Optical lithography". Dit is een zogenaamde wafer-scanner . Door middel van de techniek 'optische lithografie', is deze machine in staat computerwatchips te fabriceren. Dit zijn geheugenkaartjes of cpu's voor gebruik in computers, mobiele telefoons, enzovoort.

Het bedrijf ASML die deze machines produceert, probeert de nauwkeurigheid van deze machines steeds verder te verbeteren zodat kleinere details op computerchips kunnen worden aangebracht. Een probleem waar zij mee te maken hebben is dat thermische vervormingen al snel een rol gaan spelen, waardoor er niet gedetailleerd kan worden gewerkt. Om dit in te schatten en te voorspellen heeft Boer een Thermal Deformation state Estimator (TDE) ontworpen die kan inschatten hoe groot deze vervorming is, aldus Universiteit Twente. 

Klik hier voor een samenvatting van zijn scriptie.

Bron: Universiteit Twente

< TU Delft in 2 grote Europese kennis- en innovatienetwerken		Vlaamse wetenschappers maken kunststof uit planten en bomen >